電容位移傳感器作為一種非接觸式的精密測(cè)量?jī)x器，憑借其無磨擦、無損磨、無惰性的特點(diǎn)，以及信噪比大、靈敏度高、零漂小、頻響寬、非線性小、精度穩(wěn)定性好、抗電磁干擾能力強(qiáng)等諸多優(yōu)點(diǎn)，成為了科研、教學(xué)和生產(chǎn)中不可或缺的測(cè)試工具。

　電容位移傳感器主要有以下幾種類型：

?。?）平板電容傳感器：由兩個(gè)平行金屬板構(gòu)成，當(dāng)被測(cè)物體移動(dòng)時(shí)，兩金屬板之間的電容值發(fā)生變化，從而實(shí)現(xiàn)位移測(cè)量。

?。?）空氣電容傳感器：利用測(cè)量被測(cè)物體與傳感器之間的空氣電容變化來實(shí)現(xiàn)位移測(cè)量。

　（3）彈性電容傳感器：結(jié)合彈性材料和電容傳感器原理，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)彈性體變形的測(cè)量。

?。?）壓電電容傳感器：結(jié)合壓電效應(yīng)和電容傳感器原理，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)壓力和位移的測(cè)量。